| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| イオンビームスパッタリング装置 日本真空技術社 / IBS-2000BK | 22号館164室・ | |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅱ | 精密イオンポリシングシステム Gatan / PIPS2 Model 695 | 22号館213室・学内のみ |
| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
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| イオンビームスパッタリング装置 日本真空技術社 / IBS-2000BK | 22号館164室・ | |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅱ | 精密イオンポリシングシステム Gatan / PIPS2 Model 695 | 22号館213室・学内のみ |