測定室（管理室）装置・機器
メーカー名 / 型番(形式)		設置場所・公開範囲
RCS-III 真空蒸着装置
株式会社アルバック　他 / 特注仕様		2号館601B室・学内のみ
成膜室 真空蒸着装置
アルバック / VTR-060M/ERH		22号館164室・学内のみ

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