トップ > マグネトロンスパッタリング装置測定室（管理室）装置・機器メーカー名 / 型番(形式)設置場所・公開範囲 成膜室 マグネトロンスパッタリング装置 アルバック / VTR-151M/SRF22号館164室・学内のみ