| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| 透過型電子顕微鏡室Ⅱ | ディンプルグラインダー Gatan / Model 656 | 22号館213室・学内外 |
| FIB-SEM室 | ワイヤーソー メイワフォーシス / DWS3500P | 2号館113B室・学内外 |
| 電子顕微鏡試料作成室 | 集束イオンビーム加工観察装置(FIB) 日本電子 / JEM-9320FIB | 22号館414室・学内外 |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅱ | 精密イオンポリシングシステム Gatan / PIPS2 Model 695 | 22号館213室・学内のみ |