成膜室

分析装置・機器リスト

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  機器名	マグネトロンスパッタリング装置
  メーカー	アルバック
  型番(形式)	VTR-151M/SRF
  設置場所	２２号館１６４室
  公開範囲	学内のみ

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  機器名	真空蒸着装置
  メーカー	アルバック
  型番(形式)	VTR-060M/ERH
  設置場所	２２号館１６４室
  公開範囲	学内のみ