物理・表面計測系

マイクロマニピュレーター

メーカーマイクロサポート
型番(形式)AxisPro FC
メーカーHP
設置場所22号館259室
管理室FIB-SEM室
公開範囲学内外
技術職員配置あり
学内利用機器分析受付システム

TEM観察用にFIB加工した薄片をピックアップし、TEMグリッドに移し替えるためのマイクロスコープ一体型の電動マイクロマニピュレーターシステムです。

装置性能および仕様

マイクロスコープ倍率光学倍率:4.5~50×
モニター総合倍率:約240~2600×
マニピュレーター
(右アーム)
ストローク:X:20mm、Y:20mm、Z:29mm
分解能:各軸共0.1μm
試料ステージストローク:X:100mm,Y:50mm、Z:70mm
分解能:Z:0.1μm
ソフトウェア機能マウスコントロール・数値入力による駆動軸の操作、ポジション記憶、画像保存、動画保存、2点間計測機能、円直径計測機能、簡易深さ方向計測

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