物理・表面計測系
マイクロマニピュレーター
TEM観察用にFIB加工した薄片をピックアップし、TEMグリッドに移し替えるためのマイクロスコープ一体型の電動マイクロマニピュレーターシステムです。
装置性能および仕様
マイクロスコープ倍率 | 光学倍率:4.5~50× モニター総合倍率:約240~2600× |
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マニピュレーター (右アーム) | ストローク:X:20mm、Y:20mm、Z:29mm 分解能:各軸共0.1μm |
試料ステージ | ストローク:X:100mm,Y:50mm、Z:70mm 分解能:Z:0.1μm |
ソフトウェア機能 | マウスコントロール・数値入力による駆動軸の操作、ポジション記憶、画像保存、動画保存、2点間計測機能、円直径計測機能、簡易深さ方向計測 |