物理・表面計測系
表面粗さ計
| メーカー | 東京精密 |
|---|---|
| 型番(形式) | SURFCOM 1400G（高倍率） |
| 設置場所 | 22号館222号室 |
| 管理室 | 表面粗さ計室 |
| 公開範囲 | 学内のみ |
| 技術職員 | 配置なし |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
触針を試料表面に落とし横方向に移動させ、試料表面の形状にそった触針の上下動を増幅することで、形状プロファイルが得られる。
装置性能および仕様
| 縦方向分解能 | 0.1nm |
|---|---|
| 触針測定力 | 0.2mN |
| 出力 | CSV |
分析対象
状態基板上の堆積膜など多様な試料に対応可能。
■分析不可
柔らかい･脆い試料は、触針で破壊され測定できないことがある。