| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| FIB-SEM室 | 複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4700F | 2号館113B室・学内外 |
| 透過型電子顕微鏡室Ｉ | 透過型電子顕微鏡(TEM) 日本電子 / JEM-2100Plus | 22号館102室・学内外 |
| RCS-V | 酸素・窒素・水素分析装置 堀場製作所 / EMGA-930 | 2号館1014B室・学内のみ |
| 質量分析室 | 全自動元素分析装置 Elementar / vario EL cube | 22号館223室・学内外 |