測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
光電子分光室	走査型デュアルX線光電子分光分析装置(XPS) アルバック・ファイ / PHI Quantes	22号館159室・学内外
光電子分光室	触針式膜厚計 ULVAC / Dektak150	22号館259室・学内外
RCS-VII	X線光電子分光装置 Surface Science Instrument / M-probe	セラ研A105室・学内のみ