| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| 成膜室 | マグネトロンスパッタリング装置 アルバック / VTR-151M/SRF | 22号館164室・学内のみ |
| イオンビームスパッタリング装置 日本真空技術社 / IBS-2000BK | 22号館164室・ |
| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
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| 成膜室 | マグネトロンスパッタリング装置 アルバック / VTR-151M/SRF | 22号館164室・学内のみ |
| イオンビームスパッタリング装置 日本真空技術社 / IBS-2000BK | 22号館164室・ |