測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
RCS-I	顕微蛍光X線分析装置 堀場製作所 / XGT-7200V	1号館109A室・学内外
２次イオン質量分析室	飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS) アルバック・ファイ / PHI TRIFTV nanoTOF	22号館159室・学内外
X線マイクロアナライザー室	電界放出型電子プローブマイクロアナライザ(EPMA) 日本電子 / JXA-8530F	22号館402室・学内外