物理・表面計測系
カーボンコーター
| メーカー | メイワフォーシス |
|---|---|
| 型番(形式) | CADE/L |
| 導入年度 | 2019 |
| 設置場所 | 22号館402室 |
| 管理室 | X線マイクロアナライザー室 |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 技術職員 | 配置あり |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
非導電性材にカーボンコートすることでチャージアップを防ぐことができます。
蒸着源は超高純度(99.995%)カーボンファイバーでSEM観察、EDS分析などの前処理に適しています。真空度や試料ステージの距離で膜厚のコントロールが行えます。
装置性能および仕様
| 試料ステージ寸法 | φ80㎜ |
|---|---|
| 蒸着源 | 特殊処理高純度炭素ファイバー |
| 膜厚 | 20nm～1nm（4Paで蒸着時） |
| 蒸着源からの距離 | 40㎜～140㎜ |