物理・表面計測系
電界放出形透過電子顕微鏡(FE-TEM)
(coming soon)
メーカー | 日本電子 |
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型番(形式) | JEM-F200 |
設置場所 | 22号館155室 |
管理室 | 透過型電子顕微鏡室II |
公開範囲 | 学内外 |
技術職員 | 配置あり |
学内利用 | 機器分析受付システム |
JEM-F200は冷陰極電界放出形電子銃(Cold FE-Gun)を搭載した透過電子顕微鏡(TEM)です。加速電圧は80 kVまたは200 kVから選択可能で、無機物に限らず、電子線に弱い有機物や高分子などのソフトマテリアルも観察可能です。さらに、電子線照射量を精密にコントロールするEDM(Electron Dose Modulator)を搭載しており、試料へのダメージを最小限に抑えることができます。
本TEMには最高クラスの高精細CMOSカメラを搭載しており、精細な画像を取得できます。また、エネルギー分散型X線分析装置(EDS)には100 mm2のシリコンドリフト型検出器を2基搭載しており、早いカウント速度(CPS値)を実現するとともに、短時間での測定が可能です。さらに、電子線トモグラフィーを用いた三次元構造の再構築や、結晶方位マップや相マップの取得が可能です。加えて、統合分析システムFEMTUS™により、EDSを用いたマッピング分析、ポイント分析、およびライン分析を同時に行うことができます。
装置性能および仕様
電子銃 | 冷陰極電界放出形 |
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加速電圧 | 80kV, 200kV |
分解能(200kV) | TEM…粒子像0.23nm、格子像0.1nm STEM…高角度暗視野透過電子操作像(HAADF)0.16nm(1軸ホルダー使用時0.2nm) 反射電子像…1.0nm |
係数 | 球面収差係数1.0mm、色収差係数1.4mm |
倍率(200kV) | TEM…×1000~2.0M(Low Mag ×20~60k) SCAN…×10K~150M(Low Mag ×100~2.0M) |
ディテクター | 走査透過暗視野像、走査透過明視野像、反射電子像 |
試料ホルダー | 一軸傾斜ホルダー、二軸傾斜ホルダー、分析用Be一軸傾斜ホルダー、トモグラフ用ホルダー |
元素分析 | エネルギー分散形X線分析装置 100mm2×2本(B~U) Mn分解能129eV以下(入力係数率;5,000cps以下) |
その他の機能 | ・電子回折を用いた結晶方位解析 ・電子線トモグラフィー±80°(TEM/STEM) ・統合分析システムFEMTUS™搭載 ・高精細カメラ GATAN社製 ClearView 搭載 ・EDM(電子線照射コントロール; Electron Dose Modulator)搭載 ・結晶方位解析装置 NanoMegas社製ASTAR搭載 |
遠隔観察 | Microsoft Teams等のWeb会議システムを用いた遠隔の立ち会い測定が可能 |
分析対象
状態 | 無機材料・有機材料・金属材料 |
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試料サイズ | 試料はφ3mmのTEM用メッシュに載っている必要があります |
分析不可 | 磁性体、水分やガスを多く含む物等、電子顕微鏡本体に影響を及ぼす試料 |