集束イオンビーム加工観察装置

物理・表面計測系

透過電子顕微鏡観察試料の作製を目的とした装置です。加工後、大気下で光学顕微鏡を利用したピックアップシステムで試料をTEMメッシュに移しかえます。

状態	非導電性試料は金属蒸着などで導電性にしてください
試料サイズ	縦、横サイズはφ10mm以内かつ高さ1mm程度

ガリウムが試料内に残るのでガリウムを含む試料の元素分析には向きません

ポータル内の機器分析受付システムに記載の注意事項を確認の上、申請してください。利用料金は、職員ポータル共有ドキュメント内にあります。 e.センター＞03-09産学官金連携機構設備共用部門＞01 料金表

ご相談、または受託試験を希望される学外の方は、学外利用案内をご覧下さい。