物理・表面計測系
飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)
| メーカー | アルバック・ファイ |
|---|---|
| 型番(形式) | PHI TRIFTV nanoTOF |
| 設置場所 | 22号館159室 |
| 管理室 | 2次イオン質量分析室 |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
| マニュアル等 (学内のみ) | カタログ1、カタログ2、測定編、解析編 |
飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)では、1次イオンビームを試料表面に当てることで、表面と吸着する原子状及び分子状の物質を静的に表面から引き離し、その分子量を同定します。検出深さは試料最表面（表面数nm）ですが、Arクラスタービームを用いることにより有機物の深さ方向分析が可能となります。例えば、Liイオン電池の表面近傍のLiや他の不純物の吸着状態を観測するなどに利用できます。高速で表面のマッピングが取れますが、一方で定量測定はできないなど、向き不向きがある装置です。
装置性能および仕様
| 1次イオン銃 | Bi3++ |
|---|---|
| スパッタ銃 | Arガスクラスター銃(GCIB)：有機物用 Arガスイオン銃：無機物用、スパッタレート30nm/min程度@3kV,100nA,400μm四方,SiO2 Oxガスイオン銃：無機物用 |
| 質量分析 | 飛行時間型質量分析計 |
| 質量分解能 | 無機材料：9000M/Δm以上 有機材料(PET)：9000M/Δm以上 |
| 大気非曝露 | トランスファーベッセルあり ※トランスファーベッセルのサイズが大きい（18 x 25 x 14 cm）ため、グローブボックスに導入できるか確認が必要 |
| 温度 | 室温のみ |
| 深さ方向分析 | 測定時間：(スパッタ時間＋測定8秒(積算1回)＋銃切替時間6秒)×サイクル数 |
分析対象
| 試料サイズ (バックマウント) | 10mm×10mm程度のウェハー 断面ホルダーあり |
|---|---|
| 試料サイズ (フロントマウント) | 10cm×10cm程度 対応高さ：2、4、6、8、10、12、14、16、18、20mm |
| 状態 | ウェハ状 パウダー状（真空引きした際に舞いにくいもの。通常はインジウム箔に圧着します。） なるべく平坦な試料が好ましい（200μmの段差によりm/zは0.012ずれる） |
| 真空 | 樹脂などデガスがある試料は事前に10-4 Pa台に到達するまで真空引きが必要 |
| その他 | JISK0154：表面化学分析－分析試料の準備及び取付けに関する指針を参考に試料をご準備ください |