測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
X線マイクロアナライザー室	カーボンコーター メイワフォーシス / CADE/L	22号館402室・学内外
走査電子顕微鏡室Ⅲ	オスミウム・プラズマコーター フィルジェン / OPC60A	22号館409室・学内外
FIB-SEM室	オートファインコーター 日本電子 / JEC-3000FC	2号館113B室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ⅲ	真空蒸着装置 日本電子 / JEE-420T	2号館909A室・学内のみ