| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| FIB-SEM室 | 複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4700F | 2号館113B室・学内外 |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅴ | 原子分解能分析電子顕微鏡(FE-TEM) 日本電子 / JEM-ARM200F | 2号館121B室・学内外 |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅲ | 透過型電子顕微鏡(3D-TEM) 日本電子 / JEM-z2500 | 2号館122B室・学内外 |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅱ | 電界放出形透過電子顕微鏡(FE-TEM) 日本電子 / JEM-2100F | 22号館214室・学内外 |