X線マイクロアナライザー室

EPMA室には電解放出型走査電子顕微鏡、電界放出型電子プローブマイクロアナライザ、走査プローブ顕微鏡の表面分析装置がある。断面試料作製装置は電解放出型走査電子顕微鏡に付属しているEBSD測定用の試料の前処理に利用されている。

Ｘ線の波長を測定するには、通常、分光結晶を用いて目的の波長のＸ線のみを選別してこれを検出するが、分光結晶の面間隔をｄ，Ｘ線の波長をλとするとブラッグの法則

ｎλ＝２ｄsinθ・・・・（１）

を満足する波長のみが反射されるので面間隔既知の結晶を用いた場合、Ｘ線の結晶への入射角を変化させ、これが検出されたときの入射角を測ることにより（１）式からλを計算することができる。（ここでｎは反射次数、θは入射角）

この様に結晶等の波長分散素子を用いて特定の波長のｘ線を選別する方法を波長分散分光法（ＷＤＳ）と呼ぶ。

ＥＤＳではＷＤＳに比べ約２桁低い照射電流で検出可能であり、多数の元素の特性Ｘ線を同時に測定することができるが、エネルギー分解能Ｓ／Ｎ比はＷＤＳに劣る。また検出器として通常使われるＳｉ（Ｌｉ）結晶は性能劣化を防ぐために常時液体窒素を用いて冷却しておかなければならない。