FIB-SEM室

FIB-SEMを中心として、その前観察装置や試料加工装置を整備しています。

分析装置・機器リスト

  • 機器名ワイヤーソー
    メーカーメイワフォーシス
    型番(形式)DWS3500P
    設置場所2号館113B室
    公開範囲学内外
  • 機器名オートファインコーター
    メーカー日本電子株式会社
    型番(形式)JEC-6000FC
    設置場所2号館113B室
    公開範囲学内のみ

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