| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| FIB-SEM室 | 冷却クロスセクションポリッシャ(CCP) 日本電子 / IB19520CCP | 2号館113B室・学内外 |
| イオンビームスパッタリング装置 日本真空技術社 / IBS-2000BK | 22号館164室・ | |
| X線マイクロアナライザー室 | 断面試料作製装置 日本電子 / IB09020 | 22号館401室・学内外 |
| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
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| FIB-SEM室 | 冷却クロスセクションポリッシャ(CCP) 日本電子 / IB19520CCP | 2号館113B室・学内外 |
| イオンビームスパッタリング装置 日本真空技術社 / IBS-2000BK | 22号館164室・ | |
| X線マイクロアナライザー室 | 断面試料作製装置 日本電子 / IB09020 | 22号館401室・学内外 |