測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
FIB-SEM室	冷却クロスセクションポリッシャ(CCP) 日本電子 / IB19520CCP	2号館113B室・学内外
X線マイクロアナライザー室	断面試料作製装置 日本電子 / IB09020	22号館401室・学内外
X線マイクロアナライザー室	電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) 日本電子 / JSM-7001F	22号館402室・学内外