物理・表面計測系
走査電子顕微鏡(W-SEM)
| メーカー | 日本電子 |
|---|---|
| 型番(形式) | JSM-IT200LA 製品カタログ（学内アクセスのみ） |
| 設置場所 | 2号館113B室 |
| 管理室 | FIB-SEM室 |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 技術職員 | 配置あり |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
多機能汎用SEMです。EDSによる元素分析が可能です。低真空モードにより絶縁物観察が前処理なしで行えます。
装置性能および仕様
| 電子銃 | Wフィラメント（完全自動ガンアライメント） |
|---|---|
| 分解能 | 高真空モード 3 nm(30 kV), 8 nm(3 kV), 15 nm(1 kV) |
| 低真空モード 4 nm(30 kV BED) | |
| 倍率 | × 5 ～× 300,000（画像サイズ128 mm × 96 mmにて） |
| 画像モード | 二次電子像、反射電子像（組成像、凹凸像、立体像） |
| 低真空圧力 | 10 ～ 100 Pa |
| 加速電圧 | 0.5 kV ～ 30 kV |
| EDS機能 | スペクトル収集・点分析、定性分析・定量分析 元素マッピング、 プローブトラッキング |
| 遠隔観察 | Microsoft Teams等のWeb会議システムを用いた遠隔の立ち会い測定が可能 |
分析対象
| 試料サイズ | 試料台：直径 10 mm，直径 32 mm 高さ：30 mmまで |
|---|---|
| 分析不可 | （１）毒物、危険物 （２）ガスが発生するなど、装置の故障の原因となる試料 （３）強い磁化を持つ試料（磁性体については別途ご相談ください） （４）前処理や分析過程で、装置に障害をきたす恐れがあると判断した試料 |