物理・表面計測系
走査電子顕微鏡(W-SEM)
(coming soon)
| メーカー | 日本電子 |
|---|---|
| 型番(形式) | JSM-IT210A 製品カタログ（学内アクセスのみ） |
| 導入年度 | 2025 |
| 設置場所 | 2号館113B室 |
| 管理室 | FIB-SEM室 |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 技術職員 | 配置あり |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
多機能汎用SEMです。EDSによる元素分析が可能です。
装置性能および仕様
| 電子銃 | Wフィラメント（完全自動ガンアライメント） |
|---|---|
| 分解能 | 3 nm(30 kV), 15 nm(1 kV) |
| 倍率 | × 5 ～× 300,000（画像サイズ128 mm × 96 mmにて） |
| 画像モード | 二次電子像、反射電子像（組成像、凹凸像、立体像） |
| 加速電圧 | 0.5 kV ～ 30 kV |
| EDS機能 | スペクトル収集・点分析、定性分析・定量分析 元素マッピング、 プローブトラッキング |
分析対象
| 試料サイズ | 試料台：直径 10 mm，直径 32 mm 高さ：30 mmまで |
|---|---|
| 分析不可 | （１）毒物、危険物 （２）ガスが発生するなど、装置の故障の原因となる試料 （３）強い磁化を持つ試料（磁性体については別途ご相談ください） （４）前処理や分析過程で、装置に障害をきたす恐れがあると判断した試料 |