| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| ２次イオン質量分析室 | 飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS) アルバック・ファイ / PHI TRIFTV nanoTOF | 22号館159室・学内外 |
| X線分析室 | 薄膜結晶用X線回折装置(XRD) リガク / SmartLab | 22号館401室・学内外 |
| X線マイクロアナライザー室 | 断面試料作製装置 日本電子 / IB09020 | 22号館401室・学内外 |
| X線マイクロアナライザー室 | 電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) 日本電子 / JSM-7001F | 22号館402室・学内外 |
| X線マイクロアナライザー室 | 電界放出型電子プローブマイクロアナライザ(EPMA) 日本電子 / JXA-8530F | 22号館402室・学内外 |