物理・表面計測系
電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)
| メーカー | 日本電子 |
|---|---|
| 型番(形式) | JSM-7001F |
| 設置場所 | 22号館402室 |
| 管理室 | X線マイクロアナライザー室 |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 技術職員 | 配置あり |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
JSM-7001Fは、EDSおよびEBSD検出器付きのショットキー電界放出形走査顕微鏡です。SEMによる形態観察の他、オプションでEDSによる元素分析やEBSDによる結晶方位解析・結晶粒径評価等を行うことができます。また、対物レンズはアウトレンズ型でレンズ磁場の影響を全く受けないため、磁性材料の観察や分析も可能です。
装置性能および仕様
| 分解能 | 1.2nm (30kV) 3.0nm (1kV) |
|---|---|
| 倍率 | x10～x1,000,000 |
| 加速電圧 | 0.5～30kV |
| 照射電流 | ～200nA |
| 付属装置 | エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 結晶方位解析装置(EBSD) |
| 遠隔観察 | Microsoft Teams等のWeb会議システムを用いた遠隔の立ち会い測定が可能 |
■結晶方位解析装置(EBSD)
| 検出器 | AMETEK製，ORION |
|---|---|
| 最大速度 | 1000 point/s |
| データ取得ソフト | TEAM |
分析対象
| 状態 | 固体 |
|---|---|
| 物質 | 金属、半導体、磁性体、高分子、有機物、セラミックス、生体試料 |
| 最大試料サイズ | 直径32mm 高さ20mm |
| 分析不可 | 水分やガスを多く含むもの、腐食性や毒性があるもの |
測定例
EBSDによる鉄合金（FCC構造）の結晶方位解析
