物理・表面計測系
走査型デュアルX線光電子分光分析装置(XPS)
| メーカー | アルバック・ファイ |
|---|---|
| 型番(形式) | PHI Quantes 製品カタログ（学内アクセスのみ） |
| 設置場所 | 22号館159室 |
| 管理室 | 光電子分光室 |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 技術職員 | 配置あり |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
| マニュアル (学内のみ) | 測定編(JP)、MultiPak(JP) 測定編(EN)、MultiPak(EN) セミナー資料 |
集光された硬X線及び軟X線を用いて、微小位置から放出される光電子の運動エネルギーを計測することで、試料を構成する元素の組成、原子の価数など、分析対象となる原子の化学状態を観測する光電子分光分析装置です。表面処理装置としてアルゴンモノマー/クラスターイオンビーム装置を搭載することにより、無機材料、有機材料など様々な試料の光電子分光測定が可能です。また、大気非曝露型トランスファーベッセルを用いることにより、大気に測定試料を晒さずに測定が可能です。
装置性能および仕様
| X線源 | Al Kα線：ビーム径7.5μm～200μmで可変 Cr Kα線：ビーム径14μm～200μmで可変 |
|---|---|
| エネルギー分解能 | Al Kα線：最高0.48eV（Ag 3d5/2のFWHMで規定） Cr Kα線：最高0.85eV（Ag 3d5/2のFWHMで規定） |
| 走査X線イメージ | SXITM（Scanning X-ray induced secondary electron image）により、正確・迅速な分析位置の決定が可能。 測定時間：1～5秒 走査範囲：最大±1.4mm（最小ステップ：2μm） |
| 検出器 | 静電半球形エネルギーアナライザー マルチチャンネルディテクタ（32ch） |
| 掃引 | 範囲：0～5450eV（分解能：最小25meV） |
| 到達真空度 | 分析室：6.7×10-8Pa以下 試料加熱室：5.0×10-6Pa以下 |
| 帯電中和 | 低エネルギー電子とイオン同時照射による帯電中和 |
| イオン銃 | アルゴンモノマー／クラスター(GCIB)切り替え可能なデュアルイオン銃を搭載。無機系材料の深さ方向分析および有機系物材料の低損傷深さ方向分析が可能。 |
| 測定温度 | -120℃～250℃（試料ステージ上） |
| 試料加熱室 | 赤外線導入加熱装置により、高真空下で1000℃まで加熱可能 |
| 大気非曝露 | トランスファーベッセルあり |
| 解析ソフト | PHI MultiPakTM（装置PCおよび解析PCにインストール） CasaXPS（サイトライセンスのため、学内者は申請に応じて研究室のPCにインストール可能） |
分析対象
| 試料サイズ | 試料台（75mm×75mm）に最大100mmφの試料が取付可能 高さ：最大20mm 一度に複数の試料を試料台に乗せる場合は、各試料の測定面高さを1mm以内に合わせる必要があります また、真空引き時間を削減するために、できる限り試料は小さく準備ください |
|---|---|
| 状態 | 薄板状 |
| 物質 | 金属、半導体、セラミックス、無機材料、有機材料 |
| その他 | JISK0154：表面化学分析－分析試料の準備及び取付けに関する指針を参考に試料をご準備ください |
ギャラリー
試料台（Platen；75mm×75mm）
トランスファーベッセル用試料台