測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
ICP室	ICP発光分光分析装置 島津製作所 / ICPE-9820	22号館317室・学内外
光電子分光室	走査型デュアルX線光電子分光分析装置(XPS) アルバック・ファイ / PHI Quantes	22号館159室・学内外
FIB-SEM室	複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4700F	2号館113B室・学内外
FIB-SEM室	走査電子顕微鏡(W-SEM) 日本電子 / JSM-IT200LA	2号館113B室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ｉ	透過型電子顕微鏡(TEM) 日本電子 / JEM-2100Plus	22号館102室・学内外
RCS-V	ICP発光分析装置 島津製作所 / ICPS-7510	2号館1014B室・学内のみ
RCS-V	酸素・窒素・水素分析装置 堀場製作所 / EMGA-930	2号館1014B室・学内のみ
RCS-VII	X線光電子分光装置 Surface Science Instrument / M-probe	セラ研A105室・学内のみ
RCS-I	顕微蛍光X線分析装置 堀場製作所 / XGT-7200V	1号館109A室・学内外
質量分析室	全自動元素分析装置 Elementar / vario EL cube	22号館223室・学内外