測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
２次イオン質量分析室	飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS) アルバック・ファイ / PHI TRIFTV nanoTOF	22号館159室・学内外
オージェ分析室	電界放出型オージェ電子分光装置(FE-AES) 日本電子 / JAMP-9500F	22号館410室・学内外
X線マイクロアナライザー室	電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) 日本電子 / JSM-7001F	22号館402室・学内外
X線マイクロアナライザー室	電界放出型電子プローブマイクロアナライザ(EPMA) 日本電子 / JXA-8530F	22号館402室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ⅴ	原子分解能分析電子顕微鏡(FE-TEM) 日本電子 / JEM-ARM200F	2号館121B室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ⅳ	透過型電子顕微鏡 日本電子 / JEM-2100	セラ研B棟122・学内外
透過型電子顕微鏡室Ⅲ	局所熱分析装置 日本サーマル・コンサルティング / Nano-TA2，VESTA	2号館909A室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ⅲ	透過型電子顕微鏡(3D-TEM) 日本電子 / JEM-z2500	2号館122B室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ⅱ	電界放出形透過電子顕微鏡(FE-TEM) 日本電子 / JEM-2100F	22号館214室・学内外