| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| 光電子分光室 | 走査型デュアルX線光電子分光分析装置(XPS) アルバック・ファイ / PHI Quantes | 22号館159室・学内外 |
| X線マイクロアナライザー室 | 白金パラジウムコーター サンユー電子 / SC-701MC | 22号館401室・学内外 |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅱ | ディンプルグラインダー Gatan / Model 656 | 22号館213室・学内外 |
| FIB-SEM室 | ワイヤーソー メイワフォーシス / DWS3500P | 2号館113B室・学内外 |
| FIB-SEM室 | 冷却クロスセクションポリッシャ(CCP) 日本電子 / IB19520CCP | 2号館113B室・学内外 |
| FIB-SEM室 | 複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4700F | 2号館113B室・学内外 |
| FIB-SEM室 | 走査電子顕微鏡(W-SEM) 日本電子 / JSM-IT200LA | 2号館113B室・学内外 |
| 光電子分光室 | 触針式膜厚計 ULVAC / Dektak150 | 22号館259室・学内外 |
| RCS-III | RHEED／LEED装置 - / - | 2号館605B室・学内のみ |
| RCS-III | STM搭載RHEED装置 - / - | 2号館601B室・学内のみ |