物理・表面計測系
複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM)
| メーカー | 日本電子 |
|---|---|
| 型番(形式) | JIB-4700F 製品カタログ（学内アクセスのみ） |
| 導入年度 | 2021 |
| 設置場所 | 2号館113B室 |
| 管理室 | FIB-SEM室 |
| 公開範囲 | 学内外 |
| 技術職員 | 配置あり |
| 学内利用 | 機器分析受付システム |
FIB機能とSEM機能を同時に備えた複合ビーム加工観察装置です。SEM観察やFIB加工（断面加工・TEM試料作製）だけでなく、以下の機能を備えております。
・3D-SEM
・3D-EDS
・3D-EBSD
・OmniProbe（TEM試料 試料室内ピックアップシステム）
・STEM
・大気非曝露機構
装置性能および仕様
■FIB(集束イオンビーム)
| 加速電圧 | 1～30 kV |
|---|---|
| 倍率 | ×50～×1,000,000 |
| 像分解能 | 4nm (30kV時) |
| ビーム電流 | 1pA ～90nA、13段階 |
| 加工形状 | 矩形、線、点、円、ビットマップ |
■SEM(電子ビーム)
| 電子銃 | サーマルショットキー電界放出型電子銃 |
|---|---|
| 加速電圧 | 0.1～30 kV |
| 倍率 | ×10 ～ 1,000,000 (LDFモード搭載) |
| 像分解能 | 1.2 nm (15 kV, GBモード) 、1.6 nm (1 kV, GBモード) |
| ビーム電流 | 1pA ～300nA |
■EBSD
| 検出器 | AMETEK製，ORION |
|---|---|
| 最大速度 | 3000 point/s |
| データ取得ソフト | APEX |
■試料ステージ
| ゴニオメータステージ | X:76mm、Y:76mm、Z:5～48mm T:－10～90°、R:360° |
|---|
■その他
| 大気非曝露 | トランスファーベッセルあり |
|---|---|
| 遠隔観察 | Microsoft Teams等のWeb会議システムを用いた遠隔の立ち会い測定が可能 |
分析対象
| 状態 | 固体 非導電性試料は事前に金属やカーボンによる蒸着の必要あり |
|---|---|
| 最大試料サイズ | 通常：Φ30mm×高さ15mm 非曝露：Φ12mm×高さ15mm EBSD（要相談）：Φ30㎜×高さ8mm |