測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
電子スピン共鳴室	簡易グローブボックス アズワン / VG400	22号館306室・学内外
光電子分光室	走査型デュアルX線光電子分光分析装置(XPS) アルバック・ファイ / PHI Quantes	22号館159室・学内外
FIB-SEM室	冷却クロスセクションポリッシャ(CCP) 日本電子 / IB19520CCP	2号館113B室・学内外
FIB-SEM室	複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4700F	2号館113B室・学内外
２次イオン質量分析室	飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS) アルバック・ファイ / PHI TRIFTV nanoTOF	22号館159室・学内外
X線マイクロアナライザー室	電界放出型電子プローブマイクロアナライザ(EPMA) 日本電子 / JXA-8530F	22号館402室・学内外