| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| FIB-SEM室 | 複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4700F | 2号館113B室・学内外 |
| FIB-SEM室 | 走査電子顕微鏡(W-SEM) 日本電子 / JSM-IT200LA | 2号館113B室・学内外 |
| FIB-SEM室 | オートファインコーター 日本電子 / JEC-3000FC | 2号館113B室・学内外 |
| RCS-V | 走査型電子顕微鏡 日本電子株式会社 / JSM-6010LA | 2号館1014B室・学内のみ |
| 走査電子顕微鏡室Ⅲ | 低加速電圧型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(L-FE-SEM) 日本電子 / JSM-7800F | 22号館409室・学内外 |
| 走査型電子顕微鏡 日本電子 / JSM-6510 | 22号館401室・学内外 | |
| X線マイクロアナライザー室 | 電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) 日本電子 / JSM-7001F | 22号館402室・学内外 |