| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| 透過型電子顕微鏡室Ⅱ | ディンプルグラインダー Gatan / Model 656 | 22号館213室・学内外 |
| FIB-SEM室 | 冷却クロスセクションポリッシャ(CCP) 日本電子 / IB19520CCP | 2号館113B室・学内外 |
| RCS-V | ラマン分光－原子間力顕微鏡 Renishaw / Raman-SPM/AFM | 2号館1010B室・学内のみ |
| オージェ分析室 | 電界放出型オージェ電子分光装置(FE-AES) 日本電子 / JAMP-9500F | 22号館410室・学内外 |
| 走査型電子顕微鏡 日本電子 / JSM-6510 | 22号館401室・学内外 | |
| X線マイクロアナライザー室 | 断面試料作製装置 日本電子 / IB09020 | 22号館401室・学内外 |
| X線マイクロアナライザー室 | 電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) 日本電子 / JSM-7001F | 22号館402室・学内外 |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅱ | 精密イオンポリシングシステム Gatan / PIPS2 Model 695 | 22号館213室・学内のみ |