| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| オージェ分析室 | 電界放出型オージェ電子分光装置(FE-AES) 日本電子 / JAMP-9500F | 22号館410室・学内外 |
| X線分析室 | 薄膜結晶用X線回折装置(XRD) リガク / SmartLab | 22号館401室・学内外 |
| 走査電子顕微鏡室Ⅲ | 低加速電圧型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(L-FE-SEM) 日本電子 / JSM-7800F | 22号館409室・学内外 |
| 走査型電子顕微鏡 日本電子 / JSM-6510 | 22号館401室・学内外 | |
| X線マイクロアナライザー室 | 断面試料作製装置 日本電子 / IB09020 | 22号館401室・学内外 |
| X線マイクロアナライザー室 | 電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) 日本電子 / JSM-7001F | 22号館402室・学内外 |
| X線マイクロアナライザー室 | 電界放出型電子プローブマイクロアナライザ(EPMA) 日本電子 / JXA-8530F | 22号館402室・学内外 |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅴ | 原子分解能分析電子顕微鏡(FE-TEM) 日本電子 / JEM-ARM200F | 2号館121B室・学内外 |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅳ | 集束イオン／電子ビーム 複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4500 | セラ研B棟117・学内外 |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅳ | 透過型電子顕微鏡 日本電子 / JEM-2100 | セラ研B棟122・学内外 |