測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
FIB-SEM室	マイクロマニピュレーター マイクロサポート / AxisPro FC	22号館259室・学内外
FIB-SEM室	複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4700F	22号館259室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ⅱ	電界放出形透過電子顕微鏡(FE-TEM) 日本電子 / JEM-F200	22号館155室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ⅱ	マルチ成膜装置 真空デバイス / VES-30T	22号館213室・学内のみ
表面粗さ計室	走査型プローブ顕微鏡(SPM) 島津製作所 / SPM-9700	22号館222室・学内外
X線マイクロアナライザー室	試料前処理室 - / -	22号館416室・学内外
光電子分光室	走査型デュアルX線光電子分光分析装置(XPS) アルバック・ファイ / PHI Quantes	22号館159室・学内外
X線マイクロアナライザー室	白金パラジウムコーター サンユー電子 / SC-701MC	22号館401室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ⅱ	ディンプルグラインダー Gatan / Model 656	22号館213室・学内外
FIB-SEM室	ワイヤーソー メイワフォーシス / DWS3500P	2号館113B室・学内外