| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| FIB-SEM室 | 走査電子顕微鏡(W-SEM) 日本電子 / JSM-IT200LA | 2号館113B室・学内外 |
| 光電子分光室 | 触針式膜厚計 ULVAC / Dektak150 | 22号館259室・学内外 |
| RCS-III | RHEED／LEED装置 - / - | 2号館605B室・学内のみ |
| RCS-III | STM搭載RHEED装置 - / - | 2号館601B室・学内のみ |
| 透過型電子顕微鏡室Ｉ | 透過型電子顕微鏡(TEM) 日本電子 / JEM-2100Plus | 22号館102室・学内外 |
| RCS-VIII | X線CT装置(225kV) 島津製作所 / inspeXio SMX-225CT | 3号館126室・学内外 |
| RCS-VIII | X線CT装置(100kV) 島津製作所 / inspeXio SMX-100CT | 3号館126室・学内外 |
| X線分析室 | 粉末･多結晶用X線回折装置(XRD) リガク / SmartLabSE | 22号館401室・学内外 |
| RCS-I | 読取り機能一体型ラウエカメラシステム X線サイエンス / IPラウエカメラ | 1号館109A室・学内のみ |
| RCS-V | ラマン分光－原子間力顕微鏡 Renishaw / Raman-SPM/AFM | 2号館1010B室・学内のみ |