| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| 透過型電子顕微鏡室Ⅱ | マルチ成膜装置 真空デバイス / VES-30T | 22号館213室・学内のみ |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅱ | ディンプルグラインダー Gatan / Model 656 | 22号館213室・学内外 |
| FIB-SEM室 | 複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4700F | 2号館113B室・学内外 |
| X線マイクロアナライザー室 | カーボンコーター メイワフォーシス / CADE/L | 22号館402室・学内外 |
| 走査電子顕微鏡室Ⅲ | オスミウム・プラズマコーター フィルジェン / OPC60A | 22号館409室・学内外 |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅲ | 真空蒸着装置 日本電子 / JEE-420T | 2号館909A室・学内のみ |
| 成膜室 | 真空蒸着装置 アルバック / VTR-060M/ERH | 22号館164室・学内のみ |
| 成膜室 | マグネトロンスパッタリング装置 アルバック / VTR-151M/SRF | 22号館164室・学内のみ |
| イオンビームスパッタリング装置 日本真空技術社 / IBS-2000BK | 22号館164室・ | |
| 透過型電子顕微鏡室Ⅱ | 精密イオンポリシングシステム Gatan / PIPS2 Model 695 | 22号館213室・学内のみ |