測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
FIB-SEM室	マイクロマニピュレーター マイクロサポート / AxisPro FC	22号館259室・学内外
FIB-SEM室	複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4700F	22号館259室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ⅱ	マルチ成膜装置 真空デバイス / VES-30T	22号館213室・学内のみ
透過型電子顕微鏡室Ⅱ	ディンプルグラインダー Gatan / Model 656	22号館213室・学内外
FIB-SEM室	複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4700F	2号館113B室・学内外
X線マイクロアナライザー室	カーボンコーター メイワフォーシス / CADE/L	22号館402室・学内外
走査電子顕微鏡室Ⅲ	オスミウム・プラズマコーター フィルジェン / OPC60A	22号館409室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ⅲ	真空蒸着装置 日本電子 / JEE-420T	2号館909A室・学内のみ
成膜室	真空蒸着装置 アルバック機工 / VTR-060M/ERH	22号館401室・学内のみ
成膜室	マグネトロンスパッタリング装置 アルバック機工 / VTR-151M/SRF	22号館164室・学内のみ