測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
	イオンビームスパッタリング装置 日本真空技術社 / IBS-2000BK	22号館164室・
電子顕微鏡試料作成室	集束イオンビーム加工観察装置(FIB) 日本電子 / JEM-9320FIB	22号館414室・学内外
２次イオン質量分析室	飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS) アルバック・ファイ / PHI TRIFTV nanoTOF	22号館159室・学内外
オージェ分析室	電界放出型オージェ電子分光装置(FE-AES) 日本電子 / JAMP-9500F	22号館410室・学内外
X線分析室	薄膜結晶用X線回折装置(XRD) リガク / SmartLab	22号館401室・学内外
走査電子顕微鏡室Ⅲ	低加速電圧型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(L-FE-SEM) 日本電子 / JSM-7800F	22号館409室・学内外
	走査型電子顕微鏡 日本電子 / JSM-6510	22号館401室・学内外
X線マイクロアナライザー室	断面試料作製装置 日本電子 / IB09020	22号館401室・学内外
X線マイクロアナライザー室	電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) 日本電子 / JSM-7001F	22号館402室・学内外
X線マイクロアナライザー室	電界放出型電子プローブマイクロアナライザ(EPMA) 日本電子 / JXA-8530F	22号館402室・学内外