測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
透過型電子顕微鏡室Ⅲ	真空蒸着装置 日本電子 / JEE-420T	2号館909A室・学内のみ
成膜室	真空蒸着装置 アルバック機工 / VTR-060M/ERH	22号館401室・学内のみ
成膜室	マグネトロンスパッタリング装置 アルバック機工 / VTR-151M/SRF	22号館164室・学内のみ
	イオンビームスパッタリング装置 日本真空技術社 / IBS-2000BK	22号館164室・
２次イオン質量分析室	飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS) アルバック・ファイ / PHI TRIFTV nanoTOF	22号館159室・学内外
オージェ分析室	電界放出型オージェ電子分光装置(FE-AES) 日本電子 / JAMP-9500F	22号館410室・学内外
X線分析室	薄膜結晶用X線回折装置(XRD) リガク / SmartLab	22号館401室・学内外
走査電子顕微鏡室Ⅲ	低加速電圧型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡(L-FE-SEM) 日本電子 / JSM-7800F	22号館409室・学内外
	走査型電子顕微鏡 日本電子 / JSM-6510	22号館401室・学内外
X線マイクロアナライザー室	断面試料作製装置 日本電子 / IB09020	22号館401室・学内外