測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
成膜室	真空蒸着装置 アルバック / VTR-060M/ERH	22号館164室・学内のみ
成膜室	マグネトロンスパッタリング装置 アルバック / VTR-151M/SRF	22号館164室・学内のみ
２次イオン質量分析室	飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS) アルバック・ファイ / PHI TRIFTV nanoTOF	22号館159室・学内外
オージェ分析室	電界放出型オージェ電子分光装置(FE-AES) 日本電子 / JAMP-9500F	22号館410室・学内外
X線分析室	薄膜結晶用X線回折装置(XRD) リガク / SmartLab	22号館401室・学内外
	走査型電子顕微鏡 日本電子 / JSM-6510	22号館401室・学内外
X線マイクロアナライザー室	断面試料作製装置 日本電子 / IB09020	22号館401室・学内外
X線マイクロアナライザー室	電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM) 日本電子 / JSM-7001F	22号館402室・学内外
X線マイクロアナライザー室	電界放出型電子プローブマイクロアナライザ(EPMA) 日本電子 / JXA-8530F	22号館402室・学内外