| 測定室（管理室） | 装置・機器 メーカー名 / 型番(形式) | 設置場所・公開範囲 |
|---|---|---|
| 熱分析室 | 示差熱天秤(TG-DTA) リガク / TG8120 | 22号館314室・学内外 |
| 熱分析室 | 示差走査熱量計(DSC) リガク / DSC8230 | 22号館314室・学内外 |
| 熱分析室 | 示差熱天秤(TG-DTA) リガク / TG8101D | 22号館314室・学内外 |
| 成膜室 | 真空蒸着装置 アルバック機工 / VTR-060M/ERH | 22号館401室・学内のみ |
| 成膜室 | マグネトロンスパッタリング装置 アルバック機工 / VTR-151M/SRF | 22号館164室・学内のみ |
| ２次イオン質量分析室 | 飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS) アルバック・ファイ / PHI TRIFTV nanoTOF | 22号館159室・学内外 |
| オージェ分析室 | 電界放出型オージェ電子分光装置(FE-AES) 日本電子 / JAMP-9500F | 22号館410室・学内外 |
| X線分析室 | 薄膜結晶用X線回折装置(XRD) リガク / SmartLab | 22号館401室・学内外 |
| 走査型電子顕微鏡 日本電子 / JSM-6510 | 22号館401室・学内外 | |
| X線マイクロアナライザー室 | 断面試料作製装置 日本電子 / IB09020 | 22号館401室・学内外 |