測定室(管理室)装置・機器
メーカー名 / 型番(形式)
設置場所・公開範囲
成膜室 真空蒸着装置
アルバック / VTR-060M/ERH
22号館164室・学内のみ
成膜室 マグネトロンスパッタリング装置
アルバック / VTR-151M/SRF
22号館164室・学内のみ
2次イオン質量分析室 飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS)
アルバック・ファイ / PHI TRIFTV nanoTOF
22号館159室・学内外
オージェ分析室 電界放出型オージェ電子分光装置(FE-AES)
日本電子 / JAMP-9500F
22号館410室・学内外
X線分析室 薄膜結晶用X線回折装置(XRD)
リガク / SmartLab
22号館401室・学内外
走査型電子顕微鏡
日本電子 / JSM-6510
22号館401室・学内外
X線マイクロアナライザー室 断面試料作製装置
日本電子 / IB09020
22号館401室・学内外
X線マイクロアナライザー室 電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)
日本電子 / JSM-7001F
22号館402室・学内外
X線マイクロアナライザー室 電界放出型電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)
日本電子 / JXA-8530F
22号館402室・学内外