測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
FIB-SEM室	冷却クロスセクションポリッシャ(CCP) 日本電子 / IB19520CCP	2号館113B室・学内外
FIB-SEM室	複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4700F	2号館113B室・学内外
FIB-SEM室	走査電子顕微鏡(W-SEM) 日本電子 / JSM-IT200LA	2号館113B室・学内外
光電子分光室	触針式膜厚計 ULVAC / Dektak150	22号館259室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ｉ	透過型電子顕微鏡(TEM) 日本電子 / JEM-2100Plus	22号館102室・学内外
X線マイクロアナライザー室	カーボンコーター メイワフォーシス / CADE/L	22号館402室・学内外
走査電子顕微鏡室Ⅲ	オスミウム・プラズマコーター フィルジェン / OPC60A	22号館409室・学内外
X線分析室	粉末･多結晶用X線回折装置(XRD) リガク / SmartLabSE	22号館401室・学内外
表面粗さ計室	表面粗さ計 東京精密 / SURFCOM 1400G（高倍率）	22号館222室・学内のみ
FIB-SEM室	オートファインコーター 日本電子 / JEC-3000FC	2号館113B室・学内外