測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
光電子分光室	触針式膜厚計 ULVAC / Dektak150	22号館259室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ｉ	透過型電子顕微鏡(TEM) 日本電子 / JEM-2100Plus	22号館102室・学内外
X線マイクロアナライザー室	カーボンコーター メイワフォーシス / CADE/L	22号館402室・学内外
走査電子顕微鏡室Ⅲ	オスミウム・プラズマコーター フィルジェン / OPC60A	22号館409室・学内外
X線分析室	粉末･多結晶用X線回折装置(XRD) リガク / SmartLabSE	22号館401室・学内外
表面粗さ計室	表面粗さ計 東京精密 / SURFCOM 1400G（高倍率）	22号館222室・学内のみ
FIB-SEM室	オートファインコーター 日本電子 / JEC-3000FC	2号館113B室・学内外
透過型電子顕微鏡室Ⅲ	真空蒸着装置 日本電子 / JEE-420T	2号館909A室・学内のみ
成膜室	真空蒸着装置 アルバック / VTR-060M/ERH	22号館164室・学内のみ
成膜室	マグネトロンスパッタリング装置 アルバック / VTR-151M/SRF	22号館164室・学内のみ