測定室（管理室）	装置・機器 メーカー名 / 型番(形式)	設置場所・公開範囲
表面粗さ計室	走査型プローブ顕微鏡(SPM) 島津製作所 / SPM-9700	22号館222室・学内外
光電子分光室	走査型デュアルX線光電子分光分析装置(XPS) アルバック・ファイ / PHI Quantes	22号館159室・学内外
FIB-SEM室	複合ビーム加工観察装置(FIB-SEM) 日本電子 / JIB-4700F	2号館113B室・学内外
FIB-SEM室	走査電子顕微鏡(W-SEM) 日本電子 / JSM-IT200LA	2号館113B室・学内外
光電子分光室	触針式膜厚計 ULVAC / Dektak150	22号館259室・学内外
RCS-III	STM搭載RHEED装置 - / -	2号館601B室・学内のみ
X線マイクロアナライザー室	カーボンコーター メイワフォーシス / CADE/L	22号館402室・学内外
走査電子顕微鏡室Ⅲ	オスミウム・プラズマコーター フィルジェン / OPC60A	22号館409室・学内外
表面粗さ計室	表面粗さ計 東京精密 / SURFCOM 1400G（高倍率）	22号館222室・学内のみ
２次イオン質量分析室	飛行時間型2次イオン質量分析装置(TOF-SIMS) アルバック・ファイ / PHI TRIFTV nanoTOF	22号館159室・学内外